专利摘要：本发明公开了一种非晶硅靶材承载装置，包括：用于夹持板状非晶硅靶材的上夹板和下夹板，用于支承上夹板和下夹板的顶板，以及与顶板连接、且用于驱动顶板移动的移动装置；顶板设有第一镂空区域，上夹板设有第二镂空区域,下夹板设有第三镂空区域；顶板底面还螺纹连接多个螺丝，该多个螺丝分别贯穿上夹板和下夹板；该多个螺丝分别套装有弹簧，且弹簧都被压缩在上夹板和顶板之间。本发明非晶硅靶材承载装置，可应用在激光转印工艺中，可对靶材位置进行多次调整，在保证转印效果的同时实现靶材的多次利用，能够大幅降低靶材的成本。
今年以来时创能源新获得专利授权52个，较去年同期减少了18.75%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了7276.55万元，同比增35.5%。
数据来源：企查查
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